| 工艺优先的低成本太赫兹模块研制技术 |
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| 引用本文： | 解启林,王蕤,张弦,刘畅.工艺优先的低成本太赫兹模块研制技术[J].电子工艺技术,2022,43(2):68-70+89. |
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| 作者姓名： | 解启林 王蕤 张弦 刘畅 |
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| 作者单位： | 中国电科第三十八研究所,安徽 合肥 230008;博微太赫兹信息科技有限公司,安徽 合肥 230008,博微太赫兹信息科技有限公司,安徽 合肥 230008 |
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| 摘 要： | 基于探针设计、性能评价和互连方式对模块研制成本的影响，提出了一种W波段单面图形探针设计，在75～110 GHz频带内，实现S11参数小于-20 dB，S21参数小于-0.05 dB；提出了一种利用冷热源响应的波形图的性能优劣评价方法，提高模块的调试效率；还提出了一种传输线T结构设计，实现了在基板与芯片（或基板）拼接缝隙大于30 μm的情况下，明显改善了W波段高频传输通道的性能指标。根据仿真数据和实物装配后的性能测试验证结果，实现了低成本高性能的太赫兹模块研制。
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| 关 键 词： | W波段 探针 波形图 T结构 |
Low Cost Processing Technic Oriented Development Technology of Millimeter Wave Terahertz Module |
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| XIE Qilin,WANG Rui,ZHANG Xian,LIU Chang.Low Cost Processing Technic Oriented Development Technology of Millimeter Wave Terahertz Module[J].Electronics Process Technology,2022,43(2):68-70+89. |
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| Authors: | XIE Qilin WANG Rui ZHANG Xian LIU Chang |
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