| 绝压式BESOI负压传感器研制 |
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| 引用本文： | 李金华??,孙慷??,蒋美萍??,周调??,冒建军??,焦继传,陆德仁,王渭源.绝压式BESOI负压传感器研制[J].传感技术学报,1995,8(2):50-54. |
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| 作者姓名： | 李金华?? 孙慷?? 蒋美萍?? 周调?? 冒建军?? 焦继传 陆德仁 王渭源 |
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| 作者单位： | 江苏石油化工学院功能材料实验室!常州213016，江苏石油化工学院功能材料实验室!常州213016，江苏石油化工学院功能材料实验室!常州213016，江苏石油化工学院功能材料实验室!常州213016，常州半导体厂，中国科学院上海冶金研究所传感技术国家实验室!上海200050，中国科学院上海冶金研 |
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| 摘 要： | 采取BESOI技术形成带真空腔的绝压式结构,利用凸型梁使形变膜的应力放大,研制出在电源电压5V时,具有输出灵敏度为257.4mV/10~5Pa的绝压式负压传感器芯片.其非线性度约0.1%,未加负压时,输出电压的温漂约400×10~(-6)/℃(FS).
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| 关 键 词： | 负压传感器 键合 BESOI 传感器 |
A Study of Negative Pressure Sensor Formed on BESOI Structure |
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| Li Jinhua Sun Kang Jiang Meiping Zhou Ti Mao JianjingJibo Jiwei Lu deren Wang Weiyuan.A Study of Negative Pressure Sensor Formed on BESOI Structure[J].Journal of Transduction Technology,1995,8(2):50-54. |
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| Authors: | Li Jinhua Sun Kang Jiang Meiping Zhou Ti Mao JianjingJibo Jiwei Lu deren Wang Weiyuan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | negative pressure transducer BESOI |
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