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氮硼注入GCr15钢的俄歇分析
引用本文:余镇江,杨德全,谢燮,阎荣鑫,王珍,范垂祯.氮硼注入GCr15钢的俄歇分析[J].真空,1988(1).
作者姓名:余镇江  杨德全  谢燮  阎荣鑫  王珍  范垂祯
作者单位:航天部兰州物理研究所 (余镇江,杨德全,谢燮,阎荣鑫,王珍),航天部兰州物理研究所(范垂祯)
摘    要:用俄歇电子能谱(AES)分析技术对不同剂量N+离子注入GCr15钢;B+离子单注入;注B+离子后再注入N+离子、注N+离子后再在B+离子;以及镀B后再将N+离子注入GCr15钢的注入结果进行了俄歇深度剖面(AES-PRO)分析,谱图直观的给出了不同方式注入引起GCr15钢表层组份的变化差异,通过比较解释了耐磨性实验结果。

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