浅谈旁通阀罗茨真空泵与性能测试

本文介绍了旁通阀罗茨真空泵的结构特征、在使用中的作用。综述了该泵的极限压力，抽气速率、零流量压缩比、最大允许压差、噪声等性能的测量方法和测试过程。所选用的测量仪器及在测试过程中应注意的几个问题，文中对此也进行了详细的探讨。为旁通阀罗茨真空泵正确进行各项性能测量、可起到参考作用。