| 金属型场发射阵列的研究 |
| |
| 引用本文： | 李德杰 王邦江. 金属型场发射阵列的研究[J]. 微细加工技术, 1999, 0(1): 68-73 |
| |
| 作者姓名： | 李德杰 王邦江 |
| |
| 作者单位： | 清华大学电子工程系 |
| |
| 摘 要： | 讨论了Ｓｐｉｎｄｔ方法制作金属型ＦＥＡ工艺过程中的技术难点和相应的解决方案，最后成功地研制出场发射阵列，并实现了场发射。
|
| 关 键 词： | 场致发射；平板显示；FED；FEA |
STUDY ON METAL FIELD EMISSION ARRAY |
| |
| Li Dejie Wang Bangjiang Yao Baolun. STUDY ON METAL FIELD EMISSION ARRAY[J]. Microfabrication Technology, 1999, 0(1): 68-73 |
| |
| Authors: | Li Dejie Wang Bangjiang Yao Baolun |
| |
| Abstract: | The difficulties and their solutions in fabrication of metal FEA by Spindt method are analyzed.The field emission arrays are finally made out and the field emission is achieved. |
| |
| Keywords: | Field Emission flat panel display FED FEA |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
