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锗硅量子点掠入射小角X射线散射研究
引用本文:王玉柱,贾全杰,陈雨,薛宪营,姜晓明,崔健,林健晖,蒋最敏,何庆. 锗硅量子点掠入射小角X射线散射研究[J]. 核技术, 2008, 31(4): 250-254
作者姓名:王玉柱  贾全杰  陈雨  薛宪营  姜晓明  崔健  林健晖  蒋最敏  何庆
作者单位:1. 中国科学院高能物理研究所,北京,100049
2. 复旦大学表面物理实验室,上海,200433
3. 中国科学院上海应用物理研究所,上海,201800
摘    要:采用同步辐射X射线对MBE制备的锗硅量子点试样进行了掠入射小角X射线散射(GISAXS,grazing incidence small angle X-ray scattering)研究.根据AFM测量得到的量子点尺寸、形状和间距等参数,采用DWBA理论以及合适的分布函数,利用IsGISAXS程序对一维和二维GISAXS测量结果进行了模拟,模拟结果与实验数据符合很好,表明GISAXS是一种探测锗硅量子点尺寸、形状和分布等结构信息有效的方法.

关 键 词:锗硅  量子点  掠入射小角X射线散射
修稿时间:2007-11-01

GeSi quantum dots studied by grazing incidence small angle X-ray scattering
WANG Yuzhu,JIA Quanjie,CHEN Yu,XUE Xianying,JIANG Xiaoming,CUI Jian,LIN Jianhui,JIANG Zuimin,HE Qing. GeSi quantum dots studied by grazing incidence small angle X-ray scattering[J]. Nuclear Techniques, 2008, 31(4): 250-254
Authors:WANG Yuzhu  JIA Quanjie  CHEN Yu  XUE Xianying  JIANG Xiaoming  CUI Jian  LIN Jianhui  JIANG Zuimin  HE Qing
Abstract:
Keywords:
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