| 用计算全息图校正非球面的畸变 |
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| 引用本文： | 高松涛,王高文,张健,隋永新,杨怀江.用计算全息图校正非球面的畸变[J].光学精密工程,2013,21(8). |
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| 作者姓名： | 高松涛 王高文 张健 隋永新 杨怀江 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室,吉林长春130033;中国科学院大学,北京100049
2. 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室,吉林长春,130033 |
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| 基金项目： | 国家重大专项资金资助项目 |
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| 摘 要： | 针对用计算全息图(CGH)对非球面进行检测时出现的非对称畸变,分析了3种基本的畸变模型,提出了一种有效的校正非对称畸变的方法.该方法采用较少的拟合参数即可实现对非对称畸变的精确校正,从而可以较大程度地减少畸变校正所需要的数据点对,避免过度拟合效应.通过光学仿真模拟分析了整个干涉仪系统的畸变,并利用以上方法对畸变进行了校正.仿真结果显示,畸变校正的相对残差小于0.2％.最后,设计并制作了处于离轴工作状态的CGH,并用此CGH对非球面进行了检测.利用上述畸变校正方法对测量的非球面面形进行校正,并用校正之后的结果进行加工迭代,最终非球面面形的收敛精度达到1.8 nm(RMS),得到的结果验证了提出的畸变校正方法的可靠性.
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| 关 键 词： | 非球面检测 畸变校正 干涉仪 计算全息图 |
Correction of distortion in asphere testing with computer-generated hologram |
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| GAO Song-tao
,
WANG Gao-wen
,
ZHANG Jian
,
SUI Yong-xin
,
YANG Huai-jiang.Correction of distortion in asphere testing with computer-generated hologram[J].Optics and Precision Engineering,2013,21(8). |
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| Authors: | GAO Song-tao WANG Gao-wen ZHANG Jian SUI Yong-xin YANG Huai-jiang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | aspheric surface testing distortion correction interferometer Computer-generated Hologram(CGH) |
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