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| 纳米级超精密抛光机控制系统的研制 | |
| 引用本文： | 赵文宏,袁巨龙,邓凌,卢小慧. 纳米级超精密抛光机控制系统的研制[J]. 测控技术, 2002, 21(7): 39-42 |
| 作者姓名： | 赵文宏 袁巨龙 邓凌 卢小慧 |
| 作者单位： | 浙江工业大学电气系,浙江杭州,310032;浙江大学自动控制系,浙江杭州,310027;金华市消毒灭菌器材厂设备科,浙江金华,321002 |
| 摘 要： | 简述超精密加工技术现状，介绍超精密平面抛光机的工作原理，分析达到纳米级超精密抛光的技术难点，并阐述了纳米级超精密抛光智能控制系统的实现。 |
| 关 键 词： | 超精密抛光 嵌入式处理器 专家系统 |
| 文章编号： | 1000-8829(2002)07-0039-04 |
| 修稿时间： | 2002-05-24 |
Design of Control System of Ultraprecision Plane-Polishing Machine With Nanograde Flatness |
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| Keywords: | |
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