| 高帧速CCD摄像器件的设计 |
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| 引用本文： | 张坤. 高帧速CCD摄像器件的设计[J]. 红外与激光工程, 1999, 28(2): 58-61 |
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| 作者姓名： | 张坤 |
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| 作者单位： | 重庆光电技术研究所,重庆,40060 |
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| 摘 要： | 设计了光敏元尺寸１８μｍ×１８μｍ５１２（Ｈ）×５１２（Ｖ）光纤面板耦合ＣＣＤ高帧速摄像器件，帧速为５００帧／ｓ。详细讨论器件多相加压（ＭＰＰ）和常规工作模式的设计，给出了器件设计性能参数。该器件采用２μｍ，双层多晶硅和双层金属工艺制作。
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| 关 键 词： | 高帧速 电荷耦合器件 摄像器件 设计 |
Design of CCD image sensor for high speed imaging |
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| Zhang Kun. Design of CCD image sensor for high speed imaging[J]. Infrared and Laser Engineering, 1999, 28(2): 58-61 |
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| Authors: | Zhang Kun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | High speed imaging CCD Image sensor Design |
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