| 多弧离子镀(Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜的制备及力学性能研究 |
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| 引用本文： | 崔贯英,张钧.多弧离子镀(Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜的制备及力学性能研究[J].真空科学与技术学报,2010,30(3). |
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| 作者姓名： | 崔贯英 张钧 |
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| 作者单位： | 沈阳大学机械工程学院,沈阳,110044 |
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| 摘 要： | 采用多弧离子镀技术并使用合金靶Ti-Al-Zr制备(Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜。利用扫描电镜、X衍射仪对(Ti,Al,Zr)N膜层表面、断面形貌、成分、结构进行观察测定;系统考察了沉积工艺对(Ti,Al,Zr)N膜层质量、膜/基附着力和硬度的影响;并对膜层抗热震性进行了研究。通过与TiN,(Ti,Al)N,(Ti,Zr)N等硬质膜进行比较,发现采用Ti-Al-Zr合金靶制备的(Ti,Al,Zr)N多元梯度膜有更高的硬度和膜/基附着力,硬度可达4000 HV,实现了从硬质膜到超硬膜的转变;膜/基附着力大于200 N,同时对沉积工艺有较强的适应性。
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| 关 键 词： | (Ti Al Zr)N梯度膜 多弧离子镀 显微硬度 热震 合金靶 |
Growth and Mechanical Properties of Super-Hard Gradient(Ti,Al,Zr)N Coatings by Multi-Arc Ion Plating |
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| Cui Guanying,Zhang Jun.Growth and Mechanical Properties of Super-Hard Gradient(Ti,Al,Zr)N Coatings by Multi-Arc Ion Plating[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2010,30(3). |
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| Authors: | Cui Guanying Zhang Jun |
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