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| In_(1-x)Ga_xAs液相外延片组分一致性的控制方法 | |
| 引用本文： | 彭少近,卢文宏,郑国宪.In_(1-x)Ga_xAs液相外延片组分一致性的控制方法[J].半导体学报,1985,6(3):311-316. |
| 作者姓名： | 彭少近 卢文宏 郑国宪 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所 (彭少近，卢文宏)，中国科学院半导体研究所(郑国宪) |
| 摘 要： | 用电子探针微区分析和阴极荧光研究了LPE生长In_(1-x)Ga_xAs(x～0.47)时用逐次降低生长起始温度T_g的方法生长的外延片.结果表明,采用这种方法可以多次使用生长溶液,得到组分一致性比较好的In_(1-x)Ga_xAs(x～0.47)外延片. |
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