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| 压电及其它功能器件 | |
| 摘 要： | ３压电及其它功能器件９５３２７新的压电薄膜微型谐振器─ｚｏｕＹ．ＰｒｏＩｎｔＣｏｎｆＥｌｅｃｔｒｏｎＣｏｍｐｏｎＭａｔｅｒ（ＣＨＮ），１９９２；１９９～２０１采用新的压电薄膜技术和微细加工技术，成功地试作体声波（ＢＡｗ）微型谐振器。为在多晶硅薄膜上堆... |
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