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InP 层对正面及背面入光 PIN 探测器响应度影响研究
引用本文:杨集,冯士维,李瑛,吕长志,谢雪松,张小玲.InP 层对正面及背面入光 PIN 探测器响应度影响研究[J].光电工程,2006,33(12):141-144.
作者姓名:杨集  冯士维  李瑛  吕长志  谢雪松  张小玲
作者单位:北京工业大学,电子信息与控制工程学院,北京,100022;北京工业大学,电子信息与控制工程学院,北京,100022;北京工业大学,电子信息与控制工程学院,北京,100022;北京工业大学,电子信息与控制工程学院,北京,100022;北京工业大学,电子信息与控制工程学院,北京,100022;北京工业大学,电子信息与控制工程学院,北京,100022
基金项目:北京市自然科学基金;教育部留学回国人员科研启动基金
摘    要:InP盖层对光的吸收及入射光在探测器多界面间的多次反射,使InP层对InGaAs/InPPIN探测器的响应度产生了很大的影响。本文测量了正面和背面入光PIN探测器的响应度,并与测量的InP晶片透射率及模拟的透射率进行比较,分析了InP层对正面及背面入光PIN探测器响应度的影响。结果表明,随着InP层厚度的增加,响应度峰与峰的间隔Δλ不断减小,波形越来越密集。所以正面入光探测器的响应度起伏比较明显,且随着InP层厚度的增加,响应度极值对应的波长发生红移。背面入光探测器的响应度非常密集而成为准连续的带状。

关 键 词:InGaAs/InP  PIN探测器  响应度  InP盖层
文章编号:1003-501X(2006)12-0141-04
收稿时间:2006-03-08
修稿时间:2006-10-31

Influence of InP layer on responsivity of the front and back illuminated PIN photo diodes
YANG Ji,FENG Shi-wei,LI Ying,L Chang-zhi,XIE Xue-song,ZHANG Xiao-ling.Influence of InP layer on responsivity of the front and back illuminated PIN photo diodes[J].Opto-Electronic Engineering,2006,33(12):141-144.
Authors:YANG Ji  FENG Shi-wei  LI Ying  L Chang-zhi  XIE Xue-song  ZHANG Xiao-ling
Affiliation:YANG Ji,FENG Shi-wei,LI Ying,L(U) Chang-zhi,XIE Xue-song,ZHANG Xiao-ling
Abstract:
Keywords:InGaAs/InP
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