液相外延GaAlAsP/GaAs结构的晶格匹配和失配位错

本文通过对GaAlAsP—GaAs结构的晶格失配的测量,及其X射线形貌相观察,分析了该结构晶格匹配的机理。根据实验测量和观察指出,在GaAlAs—GaAs结构的GaAlAs层中适当加入少量P,组成的GaAlAsP四元系统,在室温下虽然可以和GaAs衬底达到很好的晶格匹配,起到应力补偿作用,但在异质界面上却引入了大量的失配位错,并对此失配位错的产生机理进行了简单的叙述。