| CMOS有源像素传感器特性分析与优化设计 |
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| 引用本文： | 徐江涛,姚素英,李斌桥,史再峰,高静.CMOS有源像素传感器特性分析与优化设计[J].半导体学报,2006,27(9). |
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| 作者姓名： | 徐江涛 姚素英 李斌桥 史再峰 高静 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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天津市科技攻关项目 |
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| 摘 要： | 设计了一个三管有源像素和其用开关电容放大器实现的双采样读出电路.该电路被嵌入一64×64像素阵列CMOS图像传感器,在Chartered公司0.35μm工艺线上成功流片.在8μm×8μm像素尺寸下实现了57%的填充因子.测得可见光响应灵敏度为0.8V/(lux·s),动态范围为50dB.理论分析和实验结果表明随着工艺尺寸缩小,像素尺寸减小会使光响应灵敏度降低.在深亚微米工艺条件下,较深的n阱/p衬底结光电二极管可以提供合理的填充因子和光响应灵敏度.
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| 关 键 词： | CMOS图像传感器 有源像素 填充因子 光响应灵敏度 CMOS image sensor active pixel sensor fill factor photo-response sensitivity CMOS image sensor 有源像素传感器 特性分析 优化设计 Design Analysis Active Pixel Sensor photodiode reasonable high sensitivity processes deep junction Theoretical analysis test results scaled dynamic range fill factor pixel array |
Design, Analysis, and Optimization of a CMOS Active Pixel Sensor |
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| Xu Jiangtao,Yao Suying,Li Binqiao,Shi Zaifeng,Gao Jing.Design, Analysis, and Optimization of a CMOS Active Pixel Sensor[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(9). |
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| Authors: | Xu Jiangtao Yao Suying Li Binqiao Shi Zaifeng Gao Jing |
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