铝表面磁控溅射沉积ZrN薄膜色度的研究

使用磁控溅射技术,在铝外表沉积Zr N薄膜,研究了磁控溅射时间和氮气流量对Zr N薄膜色度的影响。结果表明:随着磁控溅射时间的增长,薄膜的亮度L在减少,b*值(黄蓝值)在3 min时出现了最大值,说明镀膜时间在3min时最接近黄色,a*值(红绿值)波动比较大。对比仿金膜的L、a*、b*值(CIE1976 L、a*、b*系统已为世界各国正式采纳,作为国际通用的测色标准,它适用于一切光源或物体色的表示与计算),在3 min左右时,薄膜颜色最接近金黄色;而氮气流量在13~18 sccm内,薄膜颜色呈金黄色。因此对于铝的溅射参数为:溅射时间3 min,氮气流量15 sccm。