热处理工艺对钛片表面晶体结构与形貌的影响

对钛片进行了不同温度与保温时间的热处理,利用X射线衍射、扫描电子显微镜、能谱分析、X射线光电子谱等分析测试技术研究了热处理工艺对钛片表面晶体结构、形貌、元素组成与价态的影响。实验结果表明:400℃时钛片发生了微量的氧化。随温度增加,钛片表面生成了明显的金红石型二氧化钛层,晶粒尺寸增大;600℃保温10 min热处理后,氧化生成的二氧化钛层表面呈现层状,保温时间增加到60 min后呈现米粒状,800℃处理后呈现柱状;XPS测试表明氧化层中的钛元素为+4价。