利用SUPREM进行工艺条件萃取

利用ＳＵＰＲＥＭ进行半导体集成电路工艺条件的萃取是工艺模拟的主要用途之一。本文介绍如何利用适当折算法进行工艺条件的自动萃取。在这篇论文里，介绍了预淀积工艺、离子注入工艺和氧化／再分布工艺的算法结构，并且讨论了算法的实现过程和算法实现环境。