磷予淀积中杂质分布的工艺控制

本文通过磷表面浓度,磷结深度和磷源与磷分布之间联系的建立,揭示在磷扩的工艺控制中扩散温度、扩散时间、通源量和气氛等工艺因素对杂质分布的作用。