| 接近式光刻机间隙分离机构设计 |
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| 引用本文： | 佟军民,宁玉伟,严伟,胡松. 接近式光刻机间隙分离机构设计[J]. 机械设计与制造, 2008, 0(7) |
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| 作者姓名： | 佟军民 宁玉伟 严伟 胡松 |
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| 作者单位： | 中国科学院,光电技术研究所,成都,610209河南许昌职业技术学院,许昌,461000;河南许昌职业技术学院,许昌,461000;中国科学院,光电技术研究所,成都,610209 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 为满足接近式光刻设备中基片和掩模间隙分离的要求,设计了微动分离间隙机构.该结构由螺旋差动机构和杠杆机构组成.采用两同轴且旋向相同,螺距分别为0.7mm和0.8mm的差动螺旋副实现2μm的微动分辨力,进一步经1:2杠杆位移缩小机构实现1μm的间隙分离微调分辨力.试验表明,该机构达到了设计要求,满足了工作需要.
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| 关 键 词： | 接近式光刻机 螺旋差动机构 微动分辨力 |
Design for adjusting gap mechanism in proximity aligner |
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| TONG Jun-min,NING Yu-wei,YAN Wei,HU Song. Design for adjusting gap mechanism in proximity aligner[J]. Machinery Design & Manufacture, 2008, 0(7) |
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| Authors: | TONG Jun-min NING Yu-wei YAN Wei HU Song |
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