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制作1mm以下编码装置

摘要：	日本电信电话公司研制了用光测量电机的转数和试料台微动距离的超小型编码装置(位置检测装置)、其大小程度低于1mm以下,测量移动量精度可达0.01μm,用半导体激光器和微小透镜、光电二极管等在测量方面所需要的部件全部在基板上集成,能
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