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| 10~(-9)帕全金属超高真空系统的四极质谱分析 | |
| 作者姓名： | 刘命辉 王福云 白芝芳 |
| 作者单位： | 兰州物理研究所，兰州物理研究所，兰州物理研究所 |
| 摘 要： | 用四极质谱计对一台全金属超高真空系统进行了残气分析.发现钛钽二极式溅射离子泵能有效地抽除惰性气体,但泵停止工作后会大量解吸惰性气体及甲烷;BA 规管电子轰击去气时系统内有大量 CO、CO_2和CH_4产生,同时有 O_2、N_2、H_2、Ar、Ne、He 等气体出现;德制 TVP—501型涡轮分子泵启动时可出现以机械泵油为主的严重返流,高温烘烤能有效地消除油污染.在10~(-9)帕下分析系统中的主要残余气体是苯、CO 和 CO_2.最后提供了一些典型实验结果,并且对其中某些现象进行了分析和讨论. |
| 关 键 词： | 超高真空 真空装置 质谱分析 |
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