| 静电拉伸薄膜反射镜成形机理研究 |
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| 引用本文： | 孙小伟,齐迎春,金光. 静电拉伸薄膜反射镜成形机理研究[J]. 半导体光电, 2007, 28(4): 490-493 |
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| 作者姓名： | 孙小伟 齐迎春 金光 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130031;中国科学院研究生院,北京,106039;吉林大学,生物与农业工程学院,吉林,长春,130025;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130031 |
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| 摘 要： | 静电拉伸薄膜反射镜是利用静电场库仑力作用使薄膜产生面形变化,生成所需的光学曲面.由于薄膜反射镜成形过程中力场与静电场的相互耦合作用非常复杂,使其到目前为止在面形控制的理论分析上仍未有定量的结果.首先以平板电容理论为基础,对薄膜成形静电力场进行了近似分析,然后根据半球模型求解了薄膜结构变形,最终得到了薄膜反射镜面形尺寸与静电压参数的函数关系.所得结论对静电拉伸薄膜的研究工作具有一定的指导意义.
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| 关 键 词： | 静电拉伸薄膜反射镜 平板电容 半球模型 薄膜变形 |
| 文章编号： | 1001-5868（2007）04-0490-04 |
| 修稿时间： | 2006-10-12 |
Research on Shaping Stretched Membrane with Electrostatic Curvature Mirrors |
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| SUN Xiao-wei,QI Ying-chun,JIN Guang. Research on Shaping Stretched Membrane with Electrostatic Curvature Mirrors[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2007, 28(4): 490-493 |
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| Authors: | SUN Xiao-wei QI Ying-chun JIN Guang |
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| Affiliation: | 1. Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130031 ,CHN; 2. Graduat School of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039,CHN; 3. School of Biological and Agricultural Engineering,Jilin University,Changchun 130025,CHN |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SMEC mirror parallel plate capacity hemisphere mode of deformation of membrane film deformation of membrane film |
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