摘 要: | 早在1874年人们就发现某些气体放电的同时,往往伴生有少量的有机固态沉积物的生成,但直到70年代末,人们才真正开始对等离子体(plasma)进行详细研究。等离子体是物质固、液、气三态以外的第四态,是一种全部或部分电离了的气体,其中包括有离子、电子和各种中性粒子(常常是自由基),具有极高的化学反应活性。1985年7月首次召开的等离子体国际讨论会上,科学家们把等离子体分为热等离子体(HTP)和低温等离子体(LTP)。HPT是由大气电弧、电火花或火焰产生的,是一种全部电离了的气体,离子和电子处于热平衡,温度高达万度,
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