| 静电离子探针在气体放电磁化等离子体参数测量中的应用 |
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| 引用本文： | 潘阁生,王成,万树德,闻一之,俞昌旋,周立永,王之江. 静电离子探针在气体放电磁化等离子体参数测量中的应用[J]. 真空科学与技术学报, 2001, 21(2): 116-119 |
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| 作者姓名： | 潘阁生 王成 万树德 闻一之 俞昌旋 周立永 王之江 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学近代物理系 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(19635020，19675036，19775046)、教育部博士点基金(9535806，98035810)资助项目 |
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| 摘 要： | 为测量气体放电磁化等离子体离子参数，建立了一套静电离子探针诊断系统，进行了从近芯部到边缘区的离子温度分布的测量，结果与常规朗缪尔探针对电子参数的测量结果吻合。
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| 关 键 词： | 气体放电 磁化等离子体 静电离子探针 离子参数 |
| 文章编号： | 0253-9748(2001)02-0116-04 |
| 修稿时间： | 2000-05-08 |
Application of Ion Probe in a Magnetized Discharge Plasma |
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| Pan Gesheng,Wang Cheng,Wan Shude,Wen Yizhi,YU Changxuan,ZHOU Liyong,WANG Zhijiang. Application of Ion Probe in a Magnetized Discharge Plasma[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2001, 21(2): 116-119 |
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| Authors: | Pan Gesheng Wang Cheng Wan Shude Wen Yizhi YU Changxuan ZHOU Liyong WANG Zhijiang |
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| Abstract: | To measure the parameters of a magnetized plasma in gas discharge,an electrostatic ion probe system was successfully developed and constructed.The ion temperature profile measured in the discharge magnetized plasma is consistent with the electron parameters evaluated by the Langmuir probes. |
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| Keywords: | Gas discharge Magnetized plasma Electrostatic ion probe Ion parameters |
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