128光敏单元线型电荷耦合图像传感器

巳制成一种三相多晶硅栅结构的线型电荷耦合摄像器,该固体摄像器具有128光敏单元。图像信息采用双信道传输,片上放大器采用 p 沟道硅栅自对准 MOS管。在100千赫的驱动频率下测得的电注入转移效率达到99.994％。本器件的制作采用了较先进的工艺步骤。