|
|||||
|
|
| 离子镀TiN色泽与工艺关系的研究 | |
| 引用本文： | 付少华,吕广庶.离子镀TiN色泽与工艺关系的研究[J].新技术新工艺,1995(3):41-42. |
| 作者姓名： | 付少华 吕广庶 |
| 作者单位： | 北京理工大学 |
| 摘 要： | 在ＴＧ－４型离子镀膜机上，择ＴｉＮ装饰膜镀制工艺进行了研究。结果表明，控制偏压、真空度、温度、氮气、氩气流量，可得到由白到淡黄、金黄、暗黄乃至黑色的ＴｉＮ膜层，而膜的沉积速度要在ｎｍ／Ｓ级范围内变化。 |
| 关 键 词： | 离子镀 氮化钛 薄膜 覆层 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |