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SiGe／Si材料及其在微电子学中的应用

作者姓名：	邓志杰郑安生俞斌才

作者单位：	[1]北京有色金属研究总院 [2]国瑞电子材料有限责任公司

摘要：
关键词：	SiGe Si材料微电子学晶格常数失配率硅材料硅锗材料
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