| 放电等离子体烧结下Nb掺杂量对TiO2陶瓷靶材性能的影响 |
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| 引用本文： | 赵江涛,沈金城,刘欢,董磊,王晨,杨海涛.放电等离子体烧结下Nb掺杂量对TiO2陶瓷靶材性能的影响[J].硅酸盐通报,2018,37(9):2991-2994. |
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| 作者姓名： | 赵江涛 沈金城 刘欢 董磊 王晨 杨海涛 |
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| 作者单位： | 深圳大学材料学院,深圳 518060;深圳大学特种功能材料重点实验室,深圳 518060;深圳大学陶瓷制备先进技术工程实验室,深圳 518060 |
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| 基金项目： | 深圳市基础研究项目(JCYJ20160422144751573,JCYJ20160422104921235,JCYJ20140418181958489) |
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| 摘 要： | 采用放电等离子体(SPS)烧结制备了Nb掺杂TiO2(NTO)陶瓷靶材,运用X射线衍射分析、扫描电子显微镜、四探针测试仪等对NTO陶瓷靶材样品的各性能进行表征.研究了在1100℃下不同Nb掺杂量对NTO陶瓷靶材相对密度、抗弯强度、电阻率、表面形貌与微观结构等性能的影响.实验结果表明:不同Nb掺杂量对NTO陶瓷靶材的性能有显著的影响,在1100℃烧结的NTO陶瓷靶材样品,随着Nb掺杂量的升高,相对密度、抗弯强度和电阻率先增大后逐渐降低,在5wt％掺杂量处均达到了最大值,且此时结晶完好、晶粒大小分布均匀.综合而言,5wt％Nb掺杂量的NTO陶瓷靶材的各项性能表现最优,其电阻率为13.23 mΩ·cm,抗弯强度为139.1 MPa,相对密度达到99.9％.
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| 关 键 词： | 陶瓷靶材 掺杂量 SPS烧结 TiO2 |
Effect of Nb Doping on the Properties of TiO2 Ceramic Target under Spark Plasma Sintering |
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| ZHAO Jiang-tao,SHEN Jin-cheng,LIU Huan,DONG Lei,WANG Chen,YANG Hai-tao.Effect of Nb Doping on the Properties of TiO2 Ceramic Target under Spark Plasma Sintering[J].Bulletin of the Chinese Ceramic Society,2018,37(9):2991-2994. |
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| Authors: | ZHAO Jiang-tao SHEN Jin-cheng LIU Huan DONG Lei WANG Chen YANG Hai-tao |
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