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微机械振动式陀螺接口电路设计与实现
引用本文:陈懿,金仲和,王慧泉,焦纪伟,王跃林. 微机械振动式陀螺接口电路设计与实现[J]. 仪器仪表学报, 2005, 26(7): 726-732
作者姓名:陈懿  金仲和  王慧泉  焦纪伟  王跃林
作者单位:1. 浙江大学信息与电子工程系,杭州,310027
2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050
3. 浙江大学信息与电子工程系,杭州,310027;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050
基金项目:国家高技术研究发展计划(863计划)子课题(2003AA404012)资助项目。
摘    要:介绍了一种电磁驱动电容检测的微机械振动式陀螺的接口电路,电路由自激驱动电路和信号检测处理电路组成。自激驱动部分利用陀螺自身的谐振特性配合反馈电路产生自激振荡,同时为检测部分提供了稳定的同步信号;检测部分利用该同步信号和陀螺的输出信号进行同步解调,得到角速度信号。最后对该电路的性能和测试结果进行了分析。

关 键 词:微机械振动式陀螺  自激驱动  电容电压变换  同步解调  自动增益控制
修稿时间:2003-10-01

Design of an Interface Circuit for a Micromachining Vibratory Gyroscope
Chen Yi,Jin Zhonghe,Wang Huiquan,Jiao Jiwei,Wang Yuelin. Design of an Interface Circuit for a Micromachining Vibratory Gyroscope[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2005, 26(7): 726-732
Authors:Chen Yi  Jin Zhonghe  Wang Huiquan  Jiao Jiwei  Wang Yuelin
Affiliation:Chen Yi~1 Jin Zhonghe~1 Wang Huiquan~1 Jiao Jiwei~2 Wang Yuelin~
Abstract:It reports an interface circuit for micromachining vibratory gyroscope.The circuit is composed of a self-excitation driving circuit and a sense circuit.Auto gain control is used to make the gyro vibrating in a steady amplitude.The drive signal also offers a steady synchronous signal for the sense module.In the sense circuit,the angular-speed signal is obtained by synchronous demodulation of the angular-speed modulated signal of the gyroscope with the synchronous signal.The original test results are reported and discussed.
Keywords:Micromachining vibratory gyroscope Self-excitation driving C-V transform Synchronous demodulation Auto gain control
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