| 液晶基板玻璃厚度的测量方法 |
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| 引用本文： | 周波,李赫然.液晶基板玻璃厚度的测量方法[J].玻璃,2016,43(4):45-50. |
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| 作者姓名： | 周波 李赫然 |
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| 作者单位： | 东旭集团有限公司 石家庄市050021;平板显示玻璃技术和装备国家工程实验室 石家庄市050035;北京大学光华管理学院 北京市100871 |
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| 基金项目： | 国家科技支撑计划,项目名称:典型高性能特种玻璃关键技术研发与示范,课题名称:G8.5液晶玻璃基板生产技术应用开发,课题编号:2013BAE03B02-03 |
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| 摘 要： | 厚度是液晶基板玻璃生产过程中一项重要的品质指标。随着液晶基板玻璃尺寸越来越大,生产节拍要求越来越短,传统的手动式测量已不能满足生产需求。本文总结了作者实际研发的使用接触式或非接触式传感器的在线自动测厚仪的设计使用经验,说明了激光三角法和干涉法非接触式测厚的原理,电涡流/光栅尺式接触式测厚的原理,并根据实际使用情况,分析了各种方式面临的主要问题以及各自的优缺点,并提出了各种方式的使用领域。作者研发的多台在线自动测厚仪均已成功应用到本公司现有生产线中,效果良好。
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| 关 键 词： | 液晶基板玻璃 测厚 接触式 非接触式 位移传感器 激光三角法 干涉法 |
Method for Measuring the Thickness of LCD Glass Substrate |
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| ZHOU Bo,LI Heran.Method for Measuring the Thickness of LCD Glass Substrate[J].Class,2016,43(4):45-50. |
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| Authors: | ZHOU Bo LI Heran |
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| Affiliation: | ZHOU Bo;LI Heran;Dong Xu Group Co.,Ltd;National Engineering Laboratory of Flat Panel Display Glass Technology and Equipment;Guanghua School of Management Peking University; |
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