不同波长的光源对疵病散射率的影响研究

基于积分散射检测的原理设计了一种多波长疵病检测系统，选用了635 nm、525 nm及405 nm三种光源，以光电倍增管作为光电探测器，待测样品是两个刻有标准尺寸疵病的高透石英玻璃片，其中一个的宽度和深度均为20μm，另一个均为25μm，光源的功率分别为50 mW、80 mW。实验结果表明，405 nm所对应的散射率数值明显最高，即405 nm的光源疵病检测能力更强。该研究对于小尺寸疵病的检测及获取疵病的深度信息，具有很好的借鉴意义。