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Ge/SixGe1-x衬底620 nm半导体激光器的特性
引用本文:林涛,解佳男,穆妍,李亚宁,孙婉君,张霞霞,杨莎,米帅.Ge/SixGe1-x衬底620 nm半导体激光器的特性[J].激光与光电子学进展,2022(19):237-243.
作者姓名:林涛  解佳男  穆妍  李亚宁  孙婉君  张霞霞  杨莎  米帅
作者单位:1. 西安理工大学自动化与信息工程学院;2. 西安理工大学陕西省复杂系统控制与智能信息处理重点实验室
基金项目:陕西省重点研发计划(2020GY-044);;西安市科技计划(2020KJRC0077,2019219814SYS013CG035);
摘    要:短波长红光激光是激光显示、生物医学等应用领域急需开发的一种新波段光源。基于Ge/SixGe1-x衬底设计并模拟分析了一种波长为620 nm的红光半导体激光器。该激光器使用Ge衬底以及SixGe1-x基体层,通过改变SixGe1-x层中的Si摩尔分数调整激光器结构中每层AlGaInP系材料的晶格常数,从而实现高Ga摩尔分数的GaInP量子阱并将GaInP量子阱的激光波长缩短至620 nm。通过计算SiGe、AlGaInP系材料的物理参数,研究了GaInP量子阱有源区结构和SixGe1-x基体层组分对输出特性的影响规律,优化了激光器的结构参数。模拟结果表明,298 K温度下设计的激光器输出波长为620 nm,阈值电流为0.58 A,输出功率为1.20 W,转换效率为38.3%。

关 键 词:激光器  半导体激光器  短波长红光激光  晶格调制  Ge/SixGe1-x衬底
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