摘 要: | 硅基微显示器以单晶硅为衬底,背板中集成CMOS驱动电路,具有体积小、像素密度高、开关速度快、功耗低等特性,在近眼显示、投影、增强现实/虚拟现实(AR/VR)等领域具有广泛应用。综述数字微镜器件(DMD)、硅基液晶(LCoS)、硅基有机发光(OLED on silicon)、硅基二极管发光(硅基micro-LED)4种硅基微显示器,重点论述硅基OLED和硅基micro-LED的关键技术和研究进展。这些硅基微显示器具有主动发光、高分辨率、高刷新率、高对比度、低功耗等突出特点,在近眼显示领域拥有巨大的应用潜力。
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