硅基微显示器发展现状与研究进展

硅基微显示器以单晶硅为衬底，背板中集成CMOS驱动电路，具有体积小、像素密度高、开关速度快、功耗低等特性，在近眼显示、投影、增强现实/虚拟现实（AR/VR）等领域具有广泛应用。综述数字微镜器件（DMD）、硅基液晶（LCoS）、硅基有机发光（OLED on silicon）、硅基二极管发光（硅基micro-LED）4种硅基微显示器，重点论述硅基OLED和硅基micro-LED的关键技术和研究进展。这些硅基微显示器具有主动发光、高分辨率、高刷新率、高对比度、低功耗等突出特点，在近眼显示领域拥有巨大的应用潜力。