| 平面工艺SnO2薄膜甲醛气敏元件的研究 |
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| 引用本文： | 张鹏,王兢.平面工艺SnO2薄膜甲醛气敏元件的研究[J].传感技术学报,2009,22(1). |
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| 作者姓名： | 张鹏 王兢 |
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| 作者单位： | 大连理工大学电信学院,辽宁,大连,116023 |
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| 摘 要： | 用ANSYS仿真软件得到最优化的气体传感器电极结构,采用平面工艺在硅衬底上制作了3 mm×2 mm的直热式Sn02薄膜甲醛气敏元件.用溶胶凝胶(sol-gel)法制备了掺Pd的纳米SnO2薄膜,材料的平均粒径约为15nm.元件的最佳工作温度约为230℃,在该加热温度下测试了元件对体积分数为50×10-9的甲醛气体的灵敏度以及响应恢复时间.实验证明:元件的灵敏度随气体浓度的增大而增大,元件的响应和恢复时间均约为50s.
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| 关 键 词： | SnO2薄膜 溶胶凝胶 平面工艺 气敏元件 |
Study of SnO2 formaldehyde gas sensor based on plane technology |
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| Zhang Peng,Wang Jing.Study of SnO2 formaldehyde gas sensor based on plane technology[J].Journal of Transduction Technology,2009,22(1). |
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| Authors: | Zhang Peng Wang Jing |
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| Affiliation: | School of Electronic and Information Engineering, Dalian University of Technology, Dalian 116023, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SnO2 films Sol-gel Plane technology Gas sensor |
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