用反应性PVD方法在金刚石表面沉积金属钛 |
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引用本文: | 胡国荣,杨凯华.用反应性PVD方法在金刚石表面沉积金属钛[J].机械工程材料,1999,23(6):23-25. |
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作者姓名: | 胡国荣 杨凯华 |
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作者单位: | [1]中南工业大学有色冶金系 [2]中国地质大学工程学院 |
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基金项目: | 地质矿产部“九五”重点科技项目 |
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摘 要: | 采用反应性PVD方法在金刚石表面沉积金属钛镀层,用X射线衍射分析了镀层的成分,证实了镀层中碳化钛的生成。扫描电镜分析表明,金刚石复合体中金刚石与基体金属之间结合致密,并提出了金刚石与基体金属之间的粘结机理。
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关 键 词: | 金刚石 气相沉积 钛 PVD 工具 |
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