| 中频磁控溅射钛酸锶钡薄膜的结构及性能 |
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| 引用本文： | 廖家轩,李恩求,田忠,许江,杨海光.中频磁控溅射钛酸锶钡薄膜的结构及性能[J].稀有金属材料与工程,2007,36(Z1). |
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| 作者姓名： | 廖家轩 李恩求 田忠 许江 杨海光 |
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| 基金项目： | 高等学校博士学科点专项科研项目;国防科技预研项目;电子科技大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 用中频磁控溅射制备了钛酸锶钡Ba0.6Sr0.4TiO3(简称MF-BST)薄膜,并对该薄膜进行原位晶化.XPS表明,MF-BST薄膜的表面成分Ba0.58Sr0.42Ti1.01O2.95和膜体成分Ba0.6Sr0.4TiO3接近,主要由钙钛矿结构的BST组成.AFM表明,MF-BST薄膜的表面光滑致密.XRD表明,MF-BST薄膜晶化完全,呈(111)择优.XTEM观察及XPS刻蚀表明MF-BST/Pt界面过渡层约2nm厚,含少量的TixPtyOz.MF-BST薄膜电容器具有高达1200的介电常数及低达10-9A/cm2的漏电流密度.同时,该薄膜的结构及介电性能与射频磁控溅射及非原位晶化的Ba0.6Sr0.4TiO3(简称RF-BST)薄膜进行了比较.
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| 关 键 词： | 中频磁控溅射 钛酸锶钡薄膜 钙钛矿结构 |
The Structure and Properties of Barium Strontium Titanate Films Prepared by Medium Frequency Magnetron Sputtering |
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| Liao Jiaxuan,Li Enqiu,Tian Zhong,Xu Jiang,Yang Haiguang.The Structure and Properties of Barium Strontium Titanate Films Prepared by Medium Frequency Magnetron Sputtering[J].Rare Metal Materials and Engineering,2007,36(Z1). |
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| Authors: | Liao Jiaxuan Li Enqiu Tian Zhong Xu Jiang Yang Haiguang |
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