双频激光干涉仪系统线性测量误差主要来源及减小误差的方法分析 |
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引用本文: | 徐建.双频激光干涉仪系统线性测量误差主要来源及减小误差的方法分析[J].计量与测试技术,2013,40(8):39-40. |
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作者姓名: | 徐建 |
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作者单位: | 成都市计量监督检定测试院,四川成都,610021 |
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摘 要: | 双频激光干涉仪以激光波长为标准进行长度测量,在线性测长及角度测量等领域应用广泛,但不合理的使用将带来很大的测量误差,本文就测量误差的主要来源及如何有效减小误差进行分析研究。
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关 键 词: | 双频激光干涉仪 误差来源 影响程度 减小误差方法 |
Method for Analysis of Dual Frequency Laser Interference Mainly Instrument System of Linear Measurement Error Sources and Error Reduction |
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