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CdZnTe衬底表面结构分析
作者姓名:刘朝旺
作者单位:昆明物理研究所
摘    要:报道用XPS研究Cd1-yZnyTe衬底经机械抛光后和化学抛光后的表面化学配比和表面结构。MgO粉机械抛光后,表面为富Cd层,溴乙醇溶液化学抛光后,表面为贫Cd层;2-4.5kvAr^+溅射表面不导致元素的择优溅射,表面化学配比接近用电镜测量所得的体内组份值。

关 键 词:衬底 机械抛光 化学抛光 表面结构 红外光学材料
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