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锑化镓材料表面氧化的研究
作者姓名:陈坚邦 王云春
作者单位:北京有色金属研究总院
摘    要:锑化镓材料表面氧化的研究陈坚邦,王云春(北京有色金属研究总院100088)关键词:锑化镓,空气,水,表面氧化(一)前言锑化镓材料是制造2~4μm激光器、红外发光管及高速低噪声雪崩光电二极管的重要衬底材料。它的三、四元化合物外延生长有良好的晶格匹配,是...

关 键 词:锑化镓,空气,水,表面氧化
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