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垂直凝固法(VF)生长砷化镓单晶
引用本文:宋萍,王永鸿.垂直凝固法(VF)生长砷化镓单晶[J].稀有金属,1996,20(5):389-390.
作者姓名:宋萍  王永鸿
作者单位:北京有色金属研究总院
摘    要:垂直凝固法(VF)生长砷化镓单晶宋萍王永鸿马碧春濮玉梅(北京有色金属研究总院100088)关键词:垂直凝固法(VF)砷化镓(一)引言砷化镓等Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料在高速发展的电子领域中起着重要的作用。电子器件的需求不断推动着单晶生长技术的发展。而...

关 键 词:垂直凝固法(VF)  砷化镓
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