垂直凝固法(VF)生长砷化镓单晶 |
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引用本文: | 宋萍,王永鸿.垂直凝固法(VF)生长砷化镓单晶[J].稀有金属,1996,20(5):389-390. |
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作者姓名: | 宋萍 王永鸿 |
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作者单位: | 北京有色金属研究总院 |
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摘 要: | 垂直凝固法(VF)生长砷化镓单晶宋萍王永鸿马碧春濮玉梅(北京有色金属研究总院100088)关键词:垂直凝固法(VF)砷化镓(一)引言砷化镓等Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料在高速发展的电子领域中起着重要的作用。电子器件的需求不断推动着单晶生长技术的发展。而...
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关 键 词: | 垂直凝固法(VF) 砷化镓 |
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