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锑化镓材料表面氧化机理的研究
引用本文:陈坚邦,王云春.锑化镓材料表面氧化机理的研究[J].稀有金属,1996,20(4):284-290.
作者姓名:陈坚邦  王云春
作者单位:北京有色金属研究总院
摘    要:利用扫描透射电子显微镜、X射线衍射和X射线光电子能谱检测了锑化镓晶片表面氧化层的成分和结构,研究了锑化镓材料表面氧化物的形成过程。

关 键 词:锑化镓,次氯酸钠,原子氧,表面氧化
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