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杂志ISSN号
锑化镓材料表面氧化机理的研究
引用本文:
陈坚邦,王云春.锑化镓材料表面氧化机理的研究[J].稀有金属,1996,20(4):284-290.
作者姓名:
陈坚邦
王云春
作者单位:
北京有色金属研究总院
摘 要:
利用扫描透射电子显微镜、X射线衍射和X射线光电子能谱检测了锑化镓晶片表面氧化层的成分和结构,研究了锑化镓材料表面氧化物的形成过程。
关 键 词:
锑化镓,次氯酸钠,原子氧,表面氧化
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