| SOI光波导开关研究进展 |
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| 引用本文： | 严清峰,余金中.SOI光波导开关研究进展[J].激光与红外,2001,31(4):198-201. |
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| 作者姓名： | 严清峰 余金中 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所 |
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| 基金项目： | 国家自然科学重大基金 ( 69990 5 40,698962 60 ) |
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| 摘 要： | SOI光波导是硅基光波导器件的基础，也是实现其它集成光学器件的基础。文章论述了SOI材料、SOI光波导以及SOI光波导开关的一些特性和研究进展。
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| 关 键 词： | SOI 光波导 光开关 |
| 文章编号： | 1001-5078(2001)04-0198-04 |
| 修稿时间： | 2000年2月8日 |
Progress in Research on Silicon-on-insulator Optical Waveguide Switch |
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| YAN Qing-feng,YU Jin-zhong.Progress in Research on Silicon-on-insulator Optical Waveguide Switch[J].Laser & Infrared,2001,31(4):198-201. |
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| Authors: | YAN Qing-feng YU Jin-zhong |
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| Abstract: | Silicon-on-insulator (abbreviated as SOI) optical waveguide is the base of silicon-based optical waveguide devices and other integrated optical devices.The characteristics of SOI materials,SOI optical waveguides and SOI optical switches,as ewll as the progress in research on them,are reviewed in this paper. |
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| Keywords: | silicon-on-insulator optical waveguide optical waveguide switch integrated optoelectronics |
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