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超精密纳米胶体射流抛光试验研究
引用本文:宋孝宗,张勇,张飞虎,栾殿荣.超精密纳米胶体射流抛光试验研究[J].中国机械工程,2008,19(21).
作者姓名:宋孝宗  张勇  张飞虎  栾殿荣
作者单位:哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001
基金项目:国家自然科学基金,国家自然科学基金,国家自然科学基金,国家自然科学基金
摘    要:综合考虑了工件表面原子的微观状态,利用纳米颗粒特殊的高比表面能和高吸附特性,提出了一种可实现工件表面原子级去除的纳米胶体射流抛光方法.利用碱性胶体中纳米颗粒与工件的表面反应,设计了可实现超精密表面加工的纳米胶体射流抛光系统,并利用该系统对K9玻璃进行抛光.试验结果表明,纳米胶体射流抛光可实现超精密光学表面的抛光,抛光后表面粗糙度Ra小于1nm.

关 键 词:超精密加工  纳米胶体射流加工  抛光  纳米颗粒

Experimental Study on Ultra-Precision Polishing by Nanoparticle Colloid Jet Machining
Song Xiaozong,Zhang Yong,Zhang Feihu,Luan Dianrong.Experimental Study on Ultra-Precision Polishing by Nanoparticle Colloid Jet Machining[J].China Mechanical Engineering,2008,19(21).
Authors:Song Xiaozong  Zhang Yong  Zhang Feihu  Luan Dianrong
Abstract:
Keywords:
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