| 纳米压痕法研究金刚石薄膜的力学性能 |
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| 引用本文： | 李学敏,汪家道,陈大融,刘兵,刘峰斌.纳米压痕法研究金刚石薄膜的力学性能[J].硅酸盐学报,2005,33(12):1539-1543. |
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| 作者姓名： | 李学敏 汪家道 陈大融 刘兵 刘峰斌 |
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| 作者单位： | 清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084;清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084;清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084;清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084;清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084 |
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| 基金项目： | 上海市科委项目（oi23nm023）资助项目. . |
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| 摘 要： | 用热丝化学气相沉积法在硅基体上制备了大面积硼掺杂金刚石薄膜,硼的浓度大约为2×10~(20)/cm3。利用纳米压痕仪及其附件研究了薄膜和纳米划擦有关的力学性能。结果表明:薄膜具有较高的硬度,平均硬度约为30GPa,弹性模量约为419GPa;薄膜与基体的结合强度较高,薄膜发生剥落的第一次破坏力大约是4N。比较而言,薄膜中心区域的硬度高于边缘,结合强度则相反。
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| 关 键 词： | 金刚石薄膜 纳米压痕 纳米划擦 力学性能 热丝化学气相沉积法 |
| 文章编号： | 0454-5648（2005）12-1539-05 |
| 收稿时间： | 2005-04-28 |
| 修稿时间： | 2005-09-06 |
MECHANICAL PROPERTIES OF DIAMOND THIN FILMS CHARACTERIZED BY NANO-INDENTATION METHOD |
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| LI Xuemin,WANG Jiadao,CHEN Darong,LIU Bing,LIU Fengbin.MECHANICAL PROPERTIES OF DIAMOND THIN FILMS CHARACTERIZED BY NANO-INDENTATION METHOD[J].Journal of The Chinese Ceramic Society,2005,33(12):1539-1543. |
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| Authors: | LI Xuemin WANG Jiadao CHEN Darong LIU Bing LIU Fengbin |
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| Keywords: | diamond thin films nano-indentation nano-scratching mechanical properties hot filament chemical vapor deposition |
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