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晶体传感器使扫描探测显微技术达到纳米级水平
引用本文:爱莲.晶体传感器使扫描探测显微技术达到纳米级水平[J].军民两用技术与产品,2006(4):20.
作者姓名:爱莲
摘    要:美国加利福尼亚州的太平洋纳米技术公司(PNI)研制出品体传感器,该产品是高质量扫描探测显微技术(SPM)的关键。在晶体传感器上,图像探测器装在一个小的石英晶体振荡器的共振臂顶端。当成像时,振幅小于0.3nm,探测表面力小于0.3nN(纳牛),这样可确保形成高质量的清晰图像。在PNI的纳米R型和纳米I型扫描探测显微镜中都使用了晶体传感器。

关 键 词:扫描探测显微镜  晶体传感器  显微技术  纳米级  石英晶体振荡器  图像探测器  加利福尼亚州  纳米技术    太平洋
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