| 直线电机精密工作台运动控制器设计 |
| |
| 引用本文： | 杨开明,叶佩青,尹文生.直线电机精密工作台运动控制器设计[J].微细加工技术,2005(3):76-80. |
| |
| 作者姓名： | 杨开明 叶佩青 尹文生 |
| |
| 作者单位： | 清华大学,精仪系,制造工程研究所,北京,100084 |
| |
| 基金项目： | 国家863资助项目（2001AA423260） |
| |
| 摘 要： | 为了提高精密工作台的轨迹跟踪精度和动态响应性能,基于辨识出的控制对象离散化模型,利用极点配置方法设计了精密工作台运动控制器的前馈环节和反馈环节,构成具有两自由度结构的精密工作台运动控制系统.通过实验,与PD＋加速度前馈的控制方式相比较,精密工作台静态定位误差提高了0.5 μm;当精密工作台以120 mm/s匀速运动时,轨迹跟踪精度提高了3 μm;定位建立时间缩短了10 ms.结果表明,采用极点配置方法设计的运动控制器具有较好的动态响应和轨迹跟踪性能.
|
| 关 键 词： | 精密工作台 直线电机 运动控制 极点配置 |
| 文章编号： | 1003-8213（2005）03-0076-05 |
| 收稿时间： | 2004-12-07 |
| 修稿时间： | 2005-06-06 |
Motion Controller Design of Precision Stage Based on Linear Motor |
| |
| YANG Kai-ming, YE Pei-qing,YIN Weng-sheng.Motion Controller Design of Precision Stage Based on Linear Motor[J].Microfabrication Technology,2005(3):76-80. |
| |
| Authors: | YANG Kai-ming YE Pei-qing YIN Weng-sheng |
| |
| Affiliation: | Department of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua University, Beijing 100034, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | precision stage linear motor motion control pole assignment |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
