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金属等离子体浸没离子注入改善9Cr18轴承钢表面耐磨性的研究
引用本文:曾照明,朱剑豪.金属等离子体浸没离子注入改善9Cr18轴承钢表面耐磨性的研究[J].真空科学与技术,2000,20(2):77-80.
作者姓名:曾照明  朱剑豪
作者单位:[1]哈尔滨工业大学焊接生产技术国家重点实验室 [2]香港城市大学物理及材料科学系
摘    要:采用新改进的阴极弧金属等离子体源,对9Cr18轴承钢进行了金属等离子体浸没离子注入(PⅢ)处理,首先将Ti、Mo和W离子分别注入到9Cr18钢的表面,然后再对其进行N等离子体浸没离子注入,从而在9Cr18钢表面形成了一层超硬耐磨的改性层。

关 键 词:等离子体浸没  离子注入  耐磨性  9C418轴承钢
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