| 金刚石膜的制备和高取向生长 |
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| 引用本文： | 孙超,汪爱英,黄荣芳,闻立时. 金刚石膜的制备和高取向生长[J]. 炭素技术, 2002, 0(1): 34-41 |
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| 作者姓名： | 孙超 汪爱英 黄荣芳 闻立时 |
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| 作者单位： | 中国科学院,金属研究所,辽宁,沈阳,110016 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金八五重大攻关项目 ( 5 92 92 80 0 )，辽宁科委资助项目 |
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| 摘 要： | 金刚石膜是最近世界上研究最广泛的材料之一。在本文中，简要介绍了低压化学气相沉积金刚石薄膜的合成技术及高取向生长，并对存在的一些问题进行了分析和讨论。
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| 关 键 词： | 低压化学气相沉积 金刚石膜 合成技术 高取向生长 |
| 文章编号： | 1001-3741(2002)01-0034-08 |
| 修稿时间： | 2001-08-02 |
DEPOSITION AND HIGH-ORIENTED GROWTH OF DIAMOND FILMS |
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| SUN Chao,WANG Ai ying,HUANG Rong fang,WEN Li shi. DEPOSITION AND HIGH-ORIENTED GROWTH OF DIAMOND FILMS[J]. Carbon Techniques, 2002, 0(1): 34-41 |
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| Authors: | SUN Chao WANG Ai ying HUANG Rong fang WEN Li shi |
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| Abstract: | Diamond films are one of the materials that are widely studied in the world recently. The deposition technologies and the high oriented growth of diamond films by chemical vapor deposition are reviewed in this paper. Some problems involved in the research of diamond films are also discussed. |
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| Keywords: | Chemical vapor deposition diamond films deposition technology high oriented growth |
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