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集成硅压阻传感器的发展及运用
引用本文:
吕宏让.集成硅压阻传感器的发展及运用[J].化工自动化及仪表,1993,20(5):40-41.
作者姓名:
吕宏让
作者单位:
宝鸡有机化工厂动力科 宝鸡市
摘 要:
介绍了集成硅压阻传感器的特点、应用及发展。
关 键 词:
敏感芯片
集成硅
压阻传感器
本文献已被
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